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大型模块化直线等离子体实验系统

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产品描述
参数

产品名称

大型模块化直线等离子体实验系统

关键技术指标

1、每段真空室直径500mm长1m,三段式磁镜设计;
2、配100kW 2.45GHz ECR系统和50kW 13.56MHz RF系统;

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