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微波射频直线等离子体装置

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产品描述

参数

产品名称	微波射频直线等离子体装置
关键技术指标	1、高磁场约束模式中心的高密度磁场区提供稳定均匀的>2000G的磁场，磁场轴向均匀度（中间1m范围内）好于5%，磁场径向均匀度（直径ф=0.5Φ内））好于5%。 2、等离子体密度(螺旋波和ECR源) 10¹¹~10¹²cm^-3

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