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微波射频直线等离子体装置

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产品描述
参数

产品名称

微波射频直线等离子体装置

关键技术指标

1、高磁场约束模式中心的高密度磁场区提供稳定均匀的>2000G的磁场,磁场轴向均匀度(中间1m范围内)好于5%,磁场径向均匀度(直径ф=0.5Φ内))好于5%。
2、等离子体密度(螺旋波和ECR源) 1011~1012cm-3

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