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热阴极源直线等离子体装置

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产品描述

参数

产品名称	热阴极源直线等离子体装置
关键技术指标	1、束斑直径20-200mm可调； 2、束流密度(样品台中心直径1 cm内) ³5x10²²m^-2s^-1 ，等离子体电子密度达到10¹² -10¹³ cm^-3 3、样品腔室本底真空度达到10^-5 Pa级别

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微波射频直线等离子体装置

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